洁净室指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室也叫做无尘车间,无尘室。主要功能可以控制空气污染,适合精密机械工业,半导体工业等行业。
洁净室按受控粒子的性质划分
- 工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。
- 生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。
洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 。
- 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行最后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
- 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
- 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。
- 不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
洁净室的构成结构
洁净室的构成是由下列系统所组成,在所组成的系统分子中任何一项都缺一不可。
- 天花系统包括吊杆、主龙骨、次龙骨、天花板。
- 空调系统包括空气处理设备、空气输送设备、空气分配设备、冷热控制源、自动调节控制装置。
- 隔墙包括窗户、门。
- 地板或地面、包括环氧树脂地面架空地板等。
- 照明器具。