(1)根据洁净厂房中产品生产的需要和人员净化、物料净化等要求,一般设置有各种类型的净化设备。各类净化设备与洁净室的围护结构相连时,其接缝必须密封。
(2)风机过滤单元(FFU、FMU空气净化设备)的安装,一般应做到如下要求。
FFU或FWU装置应在清洁的现场进行外观检查,目测不得有变形、锈蚀、漆膜脱落、拼接板破损等现象。
在风机过滤单元的高效过滤器安装前应进行检漏,合格后才能进行安装。方向安装必须正确,安装后的风机过滤单元应便于检修。
安装后的风机过滤单元,应保持整体平整,与吊顶衔接应良好。风机箱与过滤器之间连接、风机过滤器单元与吊顶框架之间均应采取可靠的密封措施。风机过滤器单元在进行系统试运转时,必须在风口加装临时中效过滤器。
(3)带有风机的气闸室、风淋室与地面间应隔振垫:安装时应按产品说明要求,做到平整并与洁净室围护结构间配合正确,其接缝应进行密封。
(4)机械式余压阀的安装,阀体、阀板的转轴均应水平,允许偏差为2/1000。余压阀的安装位置应符合设计要求,一般设在室内气流的下风侧,并不应在工作面高度的范围内。
(5)传递窗的安装应符合设计图纸和产品说明书的要求,安装应牢固、垂直与墙体的连接处应进行密封。
(6)洁净层流罩的安装应做到如下要求。
应设有独立的吊杆,并设有防晃动的固定措施。
层流罩安装的水平度的介许偏差为1/1000,高度的介许偏差为+1.0mm。
当层流罩安装在吊顶上时,其四周与顶棚之间应设有密封和隔振措施。