高效/有隔板/新型空气过滤器简析

高效空气过滤器

随着洁净技术的发展，高效空气过滤器无论是过滤材料，结构形式，密封材料，外框材质以及检测方法变化发展很快，尤其是集成电路生产的日新月异，要求生产环境达到控制微粒直径为0.05-0.1μm，空气洁净度等级要求1级甚至更为严格，并且还要控制生产环境中的分子级化学污染物，重金属污染物等。为了满足各种微细化，高精密度的要求，除了从洁净室的布置，维护和室内装饰以及净化空调系统的形式，气流流型等方面采用可靠的技术措施外，关键技术措施之一便是选用符合要求的高效空气过滤器HEPA，超高效空气过滤器ULPA。在这方面国内外的科研，设计和制造厂家都做了大量研究开发工作，取得了许多可用的成果。

高效过滤器的耐火分级为3级。1级过滤器，过滤器的全部材料都是不燃的，不燃性材料应符合国家标准GB8624，A级，2级过滤器，过滤器滤料应为不然性材料，其要求同1级，分隔板，框架可采用符合GB8624，B2级的可燃性材料，3级过滤器，过滤器的全部材料可采用符合GB8624，B2级的可燃性材料。

高效过滤器的规格按有分隔板过滤器和无分隔板过滤器。

有隔板高效过滤器 由于制作简单，价格低等优点，到现在仍在许多场合应用。我国有隔板过滤器的基本尺寸为610mm，484mm，630mm3种，各制造厂家的规格都会有变化，过滤器的滤材为玻璃纤维滤纸，外框材料有铝合金，中密度板，镀锌钢板，隔板有铝箔，硬纸板，密封胶为聚氨酯，工作温度为-20-90℃，相对湿度≤99%铝隔板和≤85%纸隔板。

新型空气过滤器

随着科学技术的发展，在洁净室中处了要求控制微粒，微生物的浓度外，化学污染物或重金属物质度产品质量和人员健康的影响也日益受到关注。尤其是超大规模集成电路生产技术的飞跃发展，空气中能够危害产品生产质量，引起产品率降低的化学污染物质被称为分子级污染物，AMC,国际半导体设备与材料协会标准中将分子级污染物分为四类。即酸性，碱性，可凝性，惨杂性，对每一类分为5个浓度等级。北京华旭洁净净化科技承接各种洁净室装修工程一站式服务。