洁净室工程洁净工程术语汇总

1工业洁净室：空气悬浮粒子浓度，微生物限度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、生产及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度，湿度，压力，气载分子污染物浓度，防静电，噪声，气流流型，照度，防微振等按工艺要求进行控制。

2洁净度等级：洁净室内悬浮粒子洁净度的水平。给出规定粒径粒子的最大允许浓度，用每立方米中的粒子数量表示。

3粒径：给定的粒径测定仪所显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。

4悬浮粒子：用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm-8μm的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性，化学性，放射性及生命性。

5含尘浓度：单位体积空气中悬浮粒子的颗数。

6微生物：能够复制或传递基因物质的细菌或非细菌的微小生物实体。

7气流流型：对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。

8单向流：通过洁净室整个断面的风速稳定，大致平行的受控气流。

9非单向流：送入洁净室的送风以诱导方式与室内空气混合的气流分布类型。

10混合流：单向流和非单向流组合的气流。

11空态：设施已经建成，其服务动力共用设施区接通并运行，但无生产设备，材料及人员的状态。

12静态：设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。

13动态：设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

14工艺管道：洁净室内直接服务于工艺设备的气体，液体和排风管道，统称为工艺管道。

15技术夹层：洁净室中以水平构件分隔构成的空间，用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。

16技术夹道：洁净室中以垂直构件分隔构成的廊道，用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。

17漏风量：管道系统中，在某一静压下通过风管、附件及其接口，在单位时间内泄漏或渗入的空气体积量。

18配管：洁净室内，用以输送，分配工艺用水，纯水，各类气体，化学品等的管路系统的管子，附件，管件，法兰，螺栓链接件，垫片，阀门和其他组成件的组装总成。

19风淋室：利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。

20气闸室：设置在洁净出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。

21传递窗：在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧装有不能同时开启的窗扇。

22高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空气过滤器。

23超高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径0.1μm-0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空气过滤器。

24纯水：杂质含量很少的水，其电解质含量常以电阻率表征和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均要求很少的水。

25防静电环境：能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。

26浮游菌：悬浮在空气中的带菌微粒。

27沉降菌：降落在培养皿上的带菌微粒。

28风机过滤器机组ffu：由HEPA或ULPA与风机组合在一起，构成自身可提供动力的末端空气净化的装置。