洁净工程-电子产品生产环境的空气洁度等级

随着信息产业技术的发展，许多电子产品性能，质量的提高和生产过程的微细化，日益要求生产环境具有一定的空气洁净度等级和控制洁净室内工艺生产所需的各类高纯物质的供给质量。目前国内外还没有统一的电子产品的空气洁净度等级或生产环境控制要求的统一规定，各种电子产品的生产厂家依据其生产的产品品种，所采用的生产工艺技术，生产工艺设备，生产用原料以及洁净室运行的实践经验确定设计建造洁净室的空气洁度等级。现今，由于要求具有洁净生产环境的电子产品种类很多，举例部分电子产品的一些实例。仅供参考。

例子：薄膜晶体管彩色液晶显示器（TFT-LCD），生产用洁净室。TFT-LCD具有体积小，质量轻，易携带，耗电低，色彩逼真，大容量，高分辨率显示 等优点，在便携式电脑，电视，摄像机，导航仪，高档游戏机，TV电话等应用日益广泛。TFT-LCD生产工艺较复杂，技术难度和成本均较高，对生产环境要求也较高，其工艺过程薄膜晶体管有矩阵工艺与大规模集成电路生产工艺相似，生产工艺对环境的空气洁净度等级，温湿度，防微振和高纯物质的供应等均有较严格的要求，如TFT-LCD洁净室设计建造所采用有关生产环境要求举例如下。

1、洁净工程-各洁净室空气洁净度等级：控制粒子粒径为0.3μm

清洗，涂胶，曝光间---ISO4级

显影，刻蚀间---ISO5级

成盒间---ISO5级

溅射，CVD间---ISO6级，噪声控制要求65dB(A)

2、洁净工程-高密度磁带生产用洁净厂房，洁净室控制微粒粒径0.5μm。

各洁净室的空气洁净度等级要求：

涂布头---ISO5级（局部、设备自带）

备件，切带，带基，测试，涂布间和烘干，固化间---ISO6级

组装，维修间和部分原料库---ISO7级

砂磨，化验间和配件间--ISO8级

成品库和部分原料库---准洁净间

3、色彩显示器生产用洁净室，我国彩色显像管和彩色显示器生产用洁净室的设计，建造已有20年左右的实践，积累了一定经验。这类洁净室的空气洁净度等级要求虽然由于所采用的生产工艺技术不同稍有差异或洁净技术措施有所差别，各彩管制造工厂对要求具有一定洁净度等级的生产工序所需级别却大体相同。现以近期设计建造的彩色显示器生产用洁净室所采用生产环境控制要求举例如下：

各洁净室空气洁净度等级要求：洁净室微粒控制粒径0.5μm。

涂屏工序---ISO7级或8级，局部ISO5级

电子枪清洗，组装---ISO7级

荧光粉配制，涂有机膜，蒸铝，封口等工序---ISO8级

萌罩加工，黑化炉区---ISO8.5级

4、磁头生产用洁净室

各洁净室空气洁净度等级要求：洁净室微粒控制粒径0.3μm

主要生产区---ISO5级

清洗区----ISO6级/ISO5级

5、光导纤维生产用洁净室

各洁净室空气洁净度等级要求：洁净室微粒控制粒径0.3μm。

光纤预制棒制造区---ISO7级，部分要求ISO5级

光纤拉丝区---ISO6级