洁净工程设备管理-洁净室设备管理内容

洁净工程设备管理-洁净室设备管理内容

生产工艺设备的防污染管理

在洁净室内产品生产过程中生产设备的尘粒污染是不可忽视的，据资料介绍，在大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30%左右，可见其影响之大。污染的类型，除了影响制作微细图形的微尘污染外，还有可使器件特性恶化的钠，钾等碱金属和铜，铁等重金属分子或分子级污染。所谓生产设备的污染，虽然有的是生产工艺固有的污染，但是还有源于设备制作材料，生产过程的原辅材料，包括反应气体，输送气体，吹扫气体和清洗用纯水等，工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染。还有在产品生产过程中由于操作失误也会造成不应有污染。集成电路生产过程中真空设备的污染类型。从各种洁净室内产品生产的实践表明，加强洁净室内产品生产过程中生产工艺和设备的管理，确是降低室内污染程度，提高产品质量的重要措施。要十分认真细致地观察洁净室内的生产设备在运转过程中可能发尘的情况，特别是运输装置，运动部件，机械手等可能成为污染源，还有各类泵，风机等的电动内部轴承之间摩擦的发尘情况等，并针对这些污染源的情况制订相应的管理措施和必要的对策。

净化空调系统设备的管理

净化空调系统装置是确保洁净室内空气洁净度等级的主要设备，包括各类空气过滤器，洁净工作台，层流罩，空气吹淋室，传递窗，空调装置等的正常维护，定期检查和规定的测试认证等。洁净室空气空调设备的管理实例，仅供参考。

洁净室的净化空气，可按洁净厂房设计规范中的规定进行检测，在下列任一情况下，应更换高效空气过滤器。

①气流速度降到最低限度，即使更换初效，中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大；

②高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5-2倍；

③高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。

动力公用设施的管理

这些设施是实现洁净室正常，安全运行的重要装置，包括水，电，气的供应系统以及通信，安全报警装置等的日常维护，定期检查和规定的测试，认证。

设备和人身安全方面的管理

按规定记录各类设备的运转状态及有关参数，记录和分析定期检查，维修，清洗状况，尤其注意定期检查转动部件，通信和安全报警装置以及自动装置等的完好状态。

建立各类设备技术状况，运行档案，将设备，仪器仪表说明书，产品资料以及图纸资料等分类编号妥善保管，设备维修和仪器仪表，确保测量，控制的准确，可靠若采用计算机管理，监控时，应定期检查，校核其运转情况，并注意即时留下必要的记录。